海归工程师们激动地相互击掌，老师傅们则用力拍着身边年轻人的肩膀，王晓军摘下眼镜，揉了揉发酸的眼睛，脸上是疲惫却无比灿烂的笑容。!k\u?a`i+d+u·x?s?./n·e′t~
陈哲看着手中那份详实完美的测试报告，再看向不远处正被众人围住、笑得露出一口黄牙的周文兵，眼神复杂，最终化为一声长长的、心悦诚服的叹息，主动走上前。
向周文兵伸出了手：“周师傅，受教了。”周文兵一愣，随即哈哈大笑着，用沾着机油的大手用力握住了那只白皙的手：“陈工，一起使劲儿，把这示范线，干漂亮！”
融合的光芒，终于刺破了偏见的阴霾，照亮了前行的路。
……
成功的喜悦如同强心剂，注入了整个示范线项目组。那份凝聚了“土洋”智慧结晶的《清洗预氧化工艺规范》被迅速固化下来，成为示范线运行的基石之一。
秦浩抓住时机，果断决策，将“兼容性攻关”的模式迅速推广到其他关键工艺模块——光刻胶涂布显影、氮化硅介质层沉积、金属溅射…一个个联合攻关小组如雨后春笋般成立。
示范线巨大的洁净车间里，呈现出一派奇特的景象：崭新的进口设备旁，总能看到一群身影。~如~雯!徃_ -嶵-辛+漳+劫?庚-欣￠快.
一边是穿着无尘服、一丝不苟按规程操作的海归工程师，另一边则是穿着同样无尘服、但眼神和动作都带着不同“味道”的老师傅或技术部骨干。
他们或围着设备控制屏低声讨论，或在设备日志上做着额外的手写记录，或拿着各种自制的、甚至略显简陋的检测工具在旁辅助观察。
进口设备精密的传感器提供着海量的标准数据流，而老师傅们则用他们积累的感官经验……
倾听设备运转的细微声响是否“圆润”，观察腔体辉光放电的颜色是否“纯正”，感受传送机械臂运行的振动是否“沉稳”——捕捉着那些传感器可能忽略的、预示潜在问题的微妙前兆。
王晓军带领的技术团队，则如同中枢神经，源源不断地将王院士团队提供的偏差数据库、案例集方法、东海厂自身摸索的适配经验。
以及现场实时采集的“标准”与“非标”数据，进行整合、分析、提炼，持续地反哺和优化着各个工艺模块的“兼容性引擎”。
示范线的建设进度，在一种前所未有的、充满张力和创造力的氛围中，稳步而高效地推进着。￠看\书^屋?暁.说′王? ·追~醉¨新+璋^踕,
主设备安装调试接近尾声，核心的pecvd（等离子体增强化学气相沉积）区域成为焦点。
巨大的pecvd设备如同银灰色的钢铁巨兽，多个沉积腔室排列整齐，用于在硅片表面生长关键的无机介质薄膜。
这是芯片内部绝缘和钝化的核心环节，薄膜的质量和均匀性直接决定器件可靠性和良率。
负责pecvd区域调试的，是一位名叫林薇的女工程师，同样海归背景，技术精湛，作风严谨细致到近乎苛刻。
她一丝不苟地按照手册流程进行着腔体清洁、射频电源校准、气路保压测试。
每一次测试的数据都被她详细记录，并与手册基准线进行严格比对。
周文兵则带着一个小组，重点“盯防”这台关键设备。
他们利用一台高精度的便携式残余气体分析仪，这是王晓军费尽心思从王院士团队借来的“宝贝”，可以实时监测腔体内部极其微量的异常气体成分。
“林工，主腔体真空度达标，基础本底谱正常。”林薇看着屏幕，一丝不苟地汇报。周文兵凑在rga的屏幕前。
花白的眉毛却微微皱起，指着上面一个极其微小的、几乎淹没在本底噪声中的水分子特征峰：“等等！这水汽的尾巴…好像比上次抽完真空后，高了那么一丁点儿？虽然还在手册允许的范围内…”
林薇看了一眼，不以为意：“周师傅，这个峰值远低于警戒线，手册明确标注属于正常本底波动范围。
我们已严格按照规程进行了48小时高温烘烤除气。气路保压测试也完美通过，泄漏率远优于标准。
我认为可以开始工艺气体通入和射频点火测试了。”她的语气带着不容置疑的专业自信。
周文兵盯着那个小小的峰，又侧耳听了听设备内部真空泵持续运行的嗡鸣声，那种低沉中似乎夹杂着极其细微的、不和谐的嘶嘶声，若有若无。
他心头那点不安如同投入水中的墨滴，非但没有消散，反而隐隐晕开。他转向王晓军，低声道：“老王，这‘嘶嘶’声…不对劲儿。
还有这水汽尾巴…虽然小，但它没往下走，反而有点往上翘的意思。咱那数据库里，有没有提过进口设备这种微小的异常？”
王晓军快速在随身携带的平板电脑上调阅着王院士团队发来的资料和东海厂自建的案例库。
眉头也拧了起来：“有！案例集第42条！某研究所进口pecvd，调试期出现类似微小水汽峰和轻微异响，未重视。
后续通入硅烷工艺气体后，水汽与硅烷发生副反应，导致腔壁和电极上生成难以去除的白色粉末状沉积物，严重污染腔体，被迫停工两周进行大修！”
他抬起头，脸色凝重，“林工！建议暂缓通入硅烷！申请再做一次更长时间的气路保压测试，重点排查可能存在极其微小的、间歇性的渗漏点！尤其是金属密封法兰或者电极引入接口这些高压差位置！”
林薇的脸色瞬间变得难看。
连续数日的高强度调试已让她疲惫不堪，眼看最后一步点火测试就能完成这个关键节点，却要因为一个“莫须有”的、远低于警戒线的微小波动和老师傅的“感觉”而推迟？
她深吸一口气，强压着情绪：“王工，周师傅！我理解你们的谨慎。但手册允许的本底波动范围是有科学依据的！
气路保压测试完美通过，证明没有泄漏！你们提到的案例，其水汽峰值和异响程度远超我们目前的情况！